1.使用环境
1.1使用环境
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表1 使用环境 |
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温度 |
工作温度:16℃至25℃ 最佳精度保证温度为20℃±1℃，如果任何时候操作温度偏离20℃，定位精度随之偏离。 |
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最大温度梯度 |
50mK/min |
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相对湿度 |
40-60%，50%最佳 |
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最大湿度梯度 |
1%/min |
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名义大气压 |
1PSI+5Pa |
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局部气压变化 |
±10Pa |
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最大气压梯度 |
20Pa/min |
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洁净度 |
ISO-7 |
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振动等级： |
根据精度评估 |
2.测试方案
2.1测试标准
按行业标准或双方约定的标准测试，提供出厂测试报告，在用户现场实测精度指标（单轴除外），作为最终验收结果，双方现场签署验收单。
1）行程：运动控制卡采集反馈位置；
2）最大速度（空载）：运动控制卡读取最大速度反馈；
3）最大加速度（空载）：运动控制卡读取最大加速度反馈；
4）双向重复定位及定位精度测试：雷尼绍激光干涉仪往返5次阶梯法数据测量，采用雷尼绍软件自带雷尼绍分析方法得出结果；
5）直线度：雷尼绍激光干涉仪测量，采用雷尼绍软件自带雷尼绍分析方法得出结果；
6）平面度：雷尼绍激光干涉仪测量，采用雷尼绍软件自带雷尼绍分析方法得出结果；
7）Pitch：雷尼绍干涉仪测量，采用雷尼绍软件自带雷尼绍分析方法得出结果；
8）Roll：雷尼绍干涉仪测量，采用雷尼绍软件自带雷尼绍分析方法得出结果；
9）Yaw：雷尼绍干涉仪测量，采用雷尼绍软件自带雷尼绍分析方法得出结果；
10）其他指标：按双方约定测试。
2.2测试仪器
测试仪器：激光干涉仪
仪器型号：RenishawXL-80
测试项目：定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch、Yaw。
2.3测试流程
定位精度、重复定位精度：
1）空跑确认直线轴行程；
2）把测试/安装基准装到直线轴台面上，确定好基准位置；
3）使用RenishawXL-80激光基准搭配RenishawXC-80环境补偿单元，安装线性测量光学镜组，调试光路；
4）行程在2m内的直线轴，至少选取5个目标点，采用往返5次（国标）阶梯法数据测量得出结果。
直线度、平面度、Pitch、Yaw：
1）空跑确认直线轴行程；
2）把测试/安装基准装到直线台台面上，确定好基准位置；
3）使用RenishawXL-80激光基准搭配RenishawXC-80环境补偿单元，安装对应的测量光学镜组，调试光路；
4）往返1次采用雷尼绍软件自带雷尼绍分析方法得出结果。
